[发明专利]表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器

摘要

表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器属于半导体激光器技术领域。现有DFB‑LD在波长稳定性、线宽以及输出功率方面未能很好地兼顾。本发明之表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器属于边发射LD，下电极位于基条下表面，脊条位于基条上表面，上电极位于脊条上表面，基条自下而上包括衬底、N‑限制层、N‑波导层、有源区、P‑波导层，脊条自下而上包括P‑限制层、重掺杂接触层，脊条窄于基条；其特征在于，脊条属于宽条型，上电极在脊条长边方向上短于脊条，在脊条上表面两端刻蚀有表面介质光栅，在脊条两个侧面刻蚀有侧面介质光栅。该大功率分布反馈半导体激光器的温漂系数为0.062nm/K，线宽为0.8nm，连续输出功率为2W。

主权项

1.一种表面与侧面介质光栅调制的大功率分布反馈半导体激光器，属于边发射LD，下电极(1)位于基条(2)下表面，脊条(3)位于基条(2)上表面，上电极(4)位于脊条(3)上表面，基条(2)自下而上包括衬底、N‑限制层、N‑波导层、有源区、P‑波导层，脊条(3)自下而上包括P‑限制层、重掺杂接触层，脊条(3)窄于基条(2)；其特征在于，脊条(3)属于宽条型，上电极(4)在脊条(3)长边方向上短于脊条(3)，在脊条(3)上表面两端刻蚀有表面介质光栅(7)，在脊条(3)两个侧面刻蚀有侧面介质光栅(8)。