[发明专利]基板加热装置在审
| 申请号： | 201710627972.7 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107422499A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 刘开欣;何恭育 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板加热装置，基板加热装置包括炉体、设于所述炉体内的基板、设于所述炉体上的进气管道和排气管道以及与所述进气管道连通的温控系统，所述温控系统用于调节从所述进气管道进入所述炉体1内的气体的温度。本发明提出的基板加热装置包括设于所述炉体上且与所述进气管道连通的温控系统，通过所述温控系统可以调节从所述进气管道进入所述炉体内的气体的温度，从而使得基板的升温曲线稳定可控，提升烘烤效果，解决了成膜不均的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种基板加热装置，其特征在于，包括炉体(1)、设于所述炉体(1)内的基板(2)、设于所述炉体(1)上的进气管道(3)和排气管道(4)以及与所述进气管道(3)连通的温控系统(5)，所述温控系统(5)用于调节从所述进气管道(3)进入所述炉体(1)内的气体的温度。
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