[发明专利]用于干蚀刻机台的下电极结构及干蚀刻机台

摘要

本发明提供了一种用于干蚀刻机台的下电极结构，其包括绝缘部，包括相对的第一表面和第二表面；电极部，设置于第二表面上；顶针孔，贯穿绝缘部和电极部，所述第一表面与顶针孔的内表面的连接处形成台阶；顶针，包括针杆以及连接于针杆一端的托盘；当顶针承载被处理的基板至所述第一表面上时，托盘的端部位于台阶上，以将顶针孔的在所述第一表面上的开口封闭，针杆位于顶针孔中。本发明还提供了一种具有该下电极结构的干蚀刻机台。本发明在承载于绝缘部的表面上的被处理的基板出现翘曲现象时，由于托盘将顶针孔在绝缘部的表面上的开口封闭，这样周围环境中的等离子体(plasma)不会进入顶针孔内，从而避免电极部被电弧击伤(arcing)。

主权项

一种用于干蚀刻机台的下电极结构，其特征在于，包括：绝缘部，包括相对的第一表面和第二表面；电极部，设置于所述第二表面上；顶针孔，贯穿所述绝缘部和所述电极部，所述第一表面与所述顶针孔的内表面的连接处形成台阶；顶针，包括针杆以及连接于所述针杆一端的托盘；其中，当所述顶针承载所述被处理的基板至所述第一表面上时，所述托盘的端部位于所述台阶上，以将所述顶针孔的在所述第一表面上的开口封闭，所述针杆位于所述顶针孔中。