[发明专利]一种真空机台

摘要

本申请提供了一种真空机台，其包括第一真空腔室、第二真空腔室以及设置于二者之间的真空阀门组件，第一真空腔室和第二真空腔室相对设置有第一开口和第二开口，真空阀门组件包括阀门腔室以及其两侧的第一阀门和第二阀门，其中，第一阀门与第一开口形成开关配合，第二阀门与第二开口形成开关配合，第一真空腔室和阀门腔室之间设置有第一压力平衡装置，第二真空腔室和阀门腔室之间设置有第二压力平衡装置。通过该真空机台，能够使得对第一真空腔室或第二真空腔室的阀门进行单独拆卸保养时，其它腔室的压力不会受到影响，进而确保其它腔室的正常运行。

主权项

1.一种真空机台，包括第一真空腔室、第二真空腔室以及设置于二者之间的真空阀门组件，所述第一真空腔室设置有第一开口，所述第二真空腔室设置有第二开口，所述第一开口和所述第二开口相对设置，所述真空阀门组件包括阀门腔室以及其两侧的第一阀门和第二阀门，其中，所述第一阀门与所述第一开口形成开关配合，所述第二阀门与所述第二开口形成开关配合，其特征在于，所述第一真空腔室和所述阀门腔室之间设置有第一压力平衡装置，以及所述第二真空腔室和所述阀门腔室之间设置有第二压力平衡装置；所述阀门腔室上还设置有带有开关阀的安全管路，所述安全管路与所述第一压力平衡装置或所述第二压力平衡装置结合使用，以加快通气速度。