[发明专利]质谱检漏设备

摘要

本发明公开一种质谱检漏设备，包括支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述升降机构包括轴承、连接轴、齿轮、带轮、配重块及气缸，所述轴承固定在所述支撑架上，所述连接轴与所述轴承相连，所述齿轮套设在所述连接轴上，所述带轮与所述齿轮啮合相连，所述带轮的一端与所述真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连；所述安全保护装置包括：光栅传感器、到位缓冲器、缓冲器挡板及缓冲块；本发明具有气密性优良、安全性能优及真空腔体开合稳定及等优点。

主权项

1.一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，其包括：支撑架、真空腔体、升降机构、安全保护装置、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述真空腔体放置在所述支撑架上，所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述升降机构设于所述支撑架上，用于驱动所述真空腔体的结合与分离；所述升降机构包括带轮、配重块及气缸，所述带轮活动连接在所述支撑架上，所述带轮的一端与真空腔体相连，所述带轮的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连，用于带动所述真空腔体运动；所述安全保护装置设置在真空腔体外侧，用于在所述真空腔体的结合与分离过程中进行安全保护；所述安全保护装置包括：到位缓冲器及缓冲器挡板；所述缓冲器挡板固定于所述真空腔体上，用于在所述真空腔体即将运动到预定位置时，与所述到位缓冲器相抵持，以使所述真空腔体缓慢地到达预定位置；所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的所述示踪气体含量，从而判断所述待测箱体是否合格；所述控制装置用于控制所述升降机构、示踪气体源及质谱检漏装置工作。