[发明专利]一种压力传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201710642627.0 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107421681B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 周威龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器及其制作方法，该压力传感器包括：层叠设置的发光元件、干涉滤光结构和感光元件；其中，发光元件用于向干涉滤光结构发射入射光；干涉滤光结构用于根据施加在压力传感器上的压力改变干涉滤光结构的厚度，形成对应压力的出射光；感光元件用于检测出射光，并形成与出射光对应的电信号。这样通过发光元件发出入射光入射到干涉滤光结构，干涉滤光结构根据施加在压力传感器上的压力改变干涉滤光结构的厚度，对入射光进行多光束干涉作用形成对应外界压力的出射光，从而通过感光元件检测出射光以实现压力的检测。该压力传感器组件通过感光测得相应的压力，其分辨率高、灵敏度高、并且可进行面压强检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：依次层叠设置的发光元件、干涉滤光结构和感光元件；其中，所述发光元件用于向所述干涉滤光结构发射入射光；所述干涉滤光结构包括：相对设置的第一反射层和第二反射层，以及位于所述第一反射层和所述第二反射层之间的弹性支撑单元，所述弹性支撑单元、所述第一反射层和所述第二反射层形成中空腔体结构，所述中空腔体结构内填充有惰性气体；所述干涉滤光结构用于根据施加在所述压力传感器上的压力改变所述干涉滤光结构的厚度，形成对应所述压力的出射光；所述感光元件用于检测所述出射光，并形成与所述出射光对应的电信号。
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