[发明专利]一种硅碳氮蓝光发光薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710643110.3 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107400852A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 彭银桥;雷桂斌;甘元驹;陈月峰;王淑青;吴英才 | 申请（专利权）人： | 广东海洋大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58;C09K11/65 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 张月光 |
| 地址： | 524088 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅碳氮蓝光发光薄膜及其制备方法；该蓝光发光薄膜的化学通式为SiCxNy，x取值0.3~0.4，y取值0.8~0.9。本发明采用磁控溅射镀膜设备制备硅碳氮蓝光发光薄膜；该硅碳氮薄膜经退火后，其发光光谱出现了较强的451nm和490 nm的蓝光发光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅碳氮蓝光 发光 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅碳氮蓝光发光薄膜，其特征在于其化学通式是SiCxNy：其中，x的取值0.3~0.4，y取值0.8~0.9。
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