[发明专利]正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体有效
| 申请号： | 201710643741.5 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107703717B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 铃木茂 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/008;H01L21/027;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及正型感光性树脂组合物、金属布线的制造方法及层叠体。本发明的课题在于提供：正型感光性树脂组合物，其用于形成有机膜，所述有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的金属布线的永久膜使用，所述永久膜均匀地被覆金属布线的整个面，并且不被覆金属布线以外的部位；金属布线的制造方法，其使用该正型感光性树脂组合物；及层叠体，其具有使该正型感光性树脂组合物固化而形成的永久膜和金属布线。本发明使用下述正型感光性树脂组合物来形成经图案化的上述有机膜，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 金属 布线 制造 方法 层叠 | ||
【主权项】：
正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物用于形成经图案化的有机膜，所述经图案化的有机膜在对金属膜进行蚀刻而形成金属布线时作为蚀刻掩模使用，并且在已固化的状态下作为被覆经蚀刻而形成的所述金属布线的永久膜使用，所述正型感光性树脂组合物包含(A)Novolac树脂、(B)含有醌二叠氮基的化合物、和(C)着色剂。
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