[发明专利]多孔性抛光垫的锥形化方法有效
| 申请号： | 201710649251.6 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107685281B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 吉田光一;宫本一隆;川端克昌;H·桑福德-克瑞;H·B·黄;G·C·雅各布;罗水源 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/24;B24B37/26;B24D18/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 方法通过以下方式形成多孔聚氨基甲酸酯抛光垫：使热塑性聚氨基甲酸酯凝结产生多孔基质，所述多孔基质具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙。所述大孔隙与小孔隙互连。加热压机到低于或高于所述热塑性聚氨基甲酸酯的软化起始温度的温度形成一系列枕块。使所述枕块结构的侧壁塑性变形形成向下倾斜的侧壁。所述向下倾斜的侧壁从所述枕块结构的所有侧面延伸。对所述向下倾斜的侧壁开放的大孔隙比对顶部抛光表面开放的大孔隙垂直度更小，并且从垂直方向偏移10到60度。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 抛光 锥形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成多孔聚氨基甲酸酯抛光垫的方法，其包括：使热塑性聚氨基甲酸酯凝结产生多孔基质，所述多孔基质具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙，所述大孔隙与小孔隙互连，一部分所述大孔隙对顶部抛光表面开放，所述大孔隙延伸到具有基本上垂直定向的所述顶部抛光表面，并且所述热塑性聚氨基甲酸酯具有软化起始温度；加热压机到比所述热塑性聚氨基甲酸酯的所述软化起始温度低10K到高10K的温度，所述软化起始温度由初始TMA斜率变化定义，并且抵着所述热塑性聚氨基甲酸酯按压所述热压机以形成由包含所述大孔隙和所述小孔隙的所述多孔基质形成的一系列枕块结构；使所述枕块结构的侧壁塑性变形以形成向下倾斜的侧壁，所述向下倾斜的侧壁从所述枕块结构的所有侧面延伸，一部分所述大孔隙对所述向下倾斜的侧壁开放，对所述向下倾斜的侧壁开放的所述大孔隙比对所述顶部抛光表面开放的所述大孔隙垂直度更小，并且在与所述倾斜侧壁更正交的方向上从垂直方向偏移10到60度，其中所述垂直方向与所述抛光表面正交；以及在所述倾斜侧壁的底部使所述热塑性聚氨基甲酸酯熔化和凝固以封闭大部分所述大孔隙和小孔隙并且形成凹槽通道。
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