[发明专利]一种单晶硅生长炉电极升降机构

摘要

本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉电极升降机构，包括安装在单晶炉炉底盘上的第一主电极、第一辅助电极、第二主电极、第二辅助电极、第一副电极和第二副电极这六个电极单元，其中：第一主电极和第一辅助电极通过第一连接轴联动形成第一对电极组，所述第一主电极与第一辅助电极共同连接第一侧部加热器。本发明的有益效果是，热场的侧部加热器和底部加热器可以随坩埚位置变化而变化，热场温度更均衡，有利于晶体生长，提升生长晶棒的品质。

主权项

1.一种单晶硅生长炉电极升降机构，其特征在于，包括安装在单晶炉炉底盘(99)上的第一主电极(100)、第一辅助电极(200)、第二主电极(300)、第二辅助电极(400)、第一副电极(500)和第二副电极(600)这六个电极单元，其中：第一主电极(100)和第一辅助电极(200)通过第一连接轴(32)联动形成第一对电极组，所述第一主电极(100)与第一辅助电极(200)共同连接第一侧部加热器；第二主电极(300)和第二辅助电极(400)通过第二连接轴(34)联动形成第二对电极组，所述第二主电极(300)与第二辅助电极(400)共同连接第二侧部加热器；第一副电极(500)和第二副电极(600)通过软轴(56)联动形成第三对电极组，所述第一副电极(500)与第二副电极(600)共同连接底部加热器；所述第一主电极(100)、第二主电极(300)、第一副电极(500)及第二副电极(600)分别连通电源，所述第一主电极(100)、第二主电极(300)及第一副电极(500)均配有动力单元(700)；每个电极单元均具有一安装在单晶炉炉底盘上的基架(11)及直线导轨(10)、电极升降架(9)、电缆连接板(8)、升降机(12)、焊接波纹管(14)、电极(15)、绝缘套(16)、冷却水管(17)及电极套(18)，所述基架(11)向上垂直安装直线导轨(10)，电极升降架(9)安装在所述直线导轨(10)的滑块上，所述电极升降架(9)上安装电极套(18)，该电极套(18)内依次设有绝缘套(16)和电极(15)，所述电极(15)的轴心线处设有冷却水管(17)，所述水管(17)连通四通接头(19)，该电极(15)的底部设有电缆连接板(8)，所述电极升降架(9)连接升降机(12)，该电极升降架(9)连接焊接波纹管(14)的一端，所述焊接波纹管(14)的另一端固定在所述单晶炉炉底盘(99)上；所述动力单元(700)包括伺服马达(7)、减速器(4)及齿轮箱(1)，在所述基架(11)上安装马达座(6)，所述伺服马达(7)安装在该马达座(6)上，所述伺服马达(7)依次连接第一联轴器(5)、减速器(4)、第二联轴器(2)及齿轮箱(1)，所述齿轮箱(1)与所述基架(11)固定连接。