[发明专利]一种用于大平板表面抛光的双级串联式磁控平面抛光装置

摘要

本发明公开了一种用于大平板表面抛光的双级串联式磁控平面抛光装置，包括紧固弹簧、紧固滑块、刮块、抛光带、容箱、抛光液、泵、高压喷嘴、导向板、第二铰链、两组电磁线圈、两个磁轭、三个第一铰链和三个抛光轮。三个抛光轮呈三角形分布，分别通过第一铰链与地面固连，抛光带套在上述三个抛光轮上，紧固弹簧一端与紧固滑块连接，另一端与地面连接，每个磁轭外侧壁上缠绕一组电磁线圈，两组电磁线圈串联，工件穿过上述两个磁轭的间隙，一端与第二铰链连接，另一端与紧固滑块接触，泵将容箱中的抛光液经过高压喷嘴在导向板的作用下引流到间隙中，刮块与抛光带接触，且位于容箱斜上方，该设计能够提供大平板表面较高精度的抛光。

主权项

1.一种用于大平板表面抛光的双级串联式磁控平面抛光装置，其特征在于：包括紧固弹簧（1）、紧固滑块（2）、刮块（7）、抛光带（8）、溶液箱（9）、抛光液（10）、泵（12）、高压喷嘴（13）、导向板（14）、第二铰链（15）、两组电磁线圈（4）、两个磁轭（16）、三个第一铰链（6）和三个抛光轮（5）；三个抛光轮（5）呈三角形分布，分别通过第一铰链（6）与地面固连，抛光带（8）套在上述三个抛光轮（5）上，其中两个抛光轮（5）水平设置，第三个抛光轮（5）不在上述两个抛光轮（5）中垂线上，偏向上述两个抛光轮（5）中的任意一个抛光轮（5），另一个抛光轮（5）的下方设有溶液箱（9），溶液箱（9）内设有抛光液（10），紧固弹簧（1）一端与紧固滑块（2）连接，另一端与地面连接，每个磁轭（16）外侧壁上缠绕一组电磁线圈（4），两组电磁线圈（4）串联，一个磁轭（16）平行置于另一个磁轭（16）的正上方，工件（3）穿过上述两个磁轭（16）的间隙，工件（3）一端通过第二铰链（15）与地面铰连，另一端与紧固滑块（2）接触，使得工件（3）平行于抛光带（8）水平段上方，两者之间存在间隙，导向板（14）位于所述间隙进口，且与第二铰链（15）固连，泵（12）进口通过高压管与溶液箱（9）的出液口相连，出口通过高压管接高压喷嘴（13），泵（12）将溶液箱（9）中的抛光液（10）经过高压喷嘴（13）在导向板（14）的作用下引流到间隙中从而对工件（3）进行抛光，刮块（7）与抛光带（8）接触，且位于溶液箱（9）斜上方，使得抛光后间隙中的抛光液（10）在抛光带（8）的带动下，落入溶液箱（9）的进液口，刮块（7）将抛光带（8）上残留的抛光液（10）刮入溶液箱（9）的进液口；所述抛光液（10）采用软磁性颗粒的质量分数为75%的聚氨酯基磁流变胶。