[发明专利]一种喷嘴距离可调的喷铯装置有效

专利信息
申请号: 201710661921.6 申请日: 2017-08-04
公开(公告)号: CN107457110B 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 李冬;徐强;左晨;李小飞;赵鹏;张权;王弘毅;陈德智 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: B05B12/12 分类号: B05B12/12;H01J9/02;H01J27/02
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 廖盈春;曹葆青
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种喷嘴距离可调的喷铯装置,包括:移动平台单元、喷铯装置主体单元和负离子腔室单元;负离子腔室单元包括:第一伸缩波纹管、负离子腔室和栅极板;第一伸缩波纹管的一端与所述喷铯装置主体单元相连,第一伸缩波纹管的另一端与负离子腔室相连;负离子腔室用于对铯等粒子的承接,栅极板设置于负离子腔室远离所述喷嘴侧,用于铯的沉覆;移动平台单元用于配合第一伸缩波纹管移动喷铯装置主体单元,同时还对喷铯装置主体单元起到支撑作用;当移动平台单元带动喷铯装置主体单元移动时,第一伸缩波纹管沿相同方向伸或缩,从而改变了喷嘴与所述栅极板的距离。本发明可以提高负离子品质,为负离子运行提供了另一个维度的变化参数。
搜索关键词: 一种 喷嘴 距离 可调 装置
【主权项】:
1.一种喷嘴距离可调的喷铯装置,其特征在于,包括:移动平台单元(100)、喷铯装置主体单元(200)和负离子腔室单元(300);所述喷铯装置主体单元(200)包括:储铯单元(210)、第一传导单元(220)、第二传导单元(230),所述储铯单元(210)设置于所述第一传导单元(220)的下侧,用于铯的存储和蒸发;所述第一传导单元(220)和所述第二传导单元(230)直接相连,两者均用于对铯的传输;所述负离子腔室单元(300)包括:第一伸缩波纹管(301)、负离子腔室(303)和栅极板(304);所述第一伸缩波纹管(301)的一端与所述喷铯装置主体单元(200)相连,所述第一伸缩波纹管(301)的另一端与所述负离子腔室(303)相连;所述负离子腔室(303)用于对铯等粒子的承接,所述栅极板(304)设置于所述负离子腔室(303)远离所述喷嘴(233)侧,用于铯的沉覆;所述移动平台单元(100)用于配合所述第一伸缩波纹管(301)移动所述喷铯装置主体单元(200),同时还对所述喷铯装置主体单元(200)起到支撑作用;当所述移动平台单元(100)带动所述喷铯装置主体单元(200)移动时,所述第一伸缩波纹管(301)沿相同方向伸或缩,从而改变了所述喷嘴(233)与所述栅极板(304)的距离。
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