[发明专利]一种偏光片光学量测系统、量测方法及量测处理设备有效
申请号: | 201710668501.0 | 申请日: | 2017-08-07 |
公开(公告)号: | CN107588928B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 海博 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种偏光片光学量测系统、量测方法及量测处理设备,所述量测系统包括:量测组件和控制装置;所述量测组件包括依序设置于测试光的光路上的偏光片载台和光接收器件;所述控制装置分别与所述偏光片载台和所述光接收器件连接,用于:控制所述偏光片载台进行旋转;从所述光接收器件中探测所述测试光的光谱;根据得到的光谱计算所述待测偏光片的光学参数。通过上述方法,本发明可以满足对偏光片光学参数的量测的高精度要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏光 光学 系统 方法 处理 设备 | ||
【主权项】:
1.一种偏光片光学量测系统,其特征在于,包括:量测组件和控制装置;所述量测组件包括依序设置于测试光的光路上的偏光片载台和光接收器件;其中,所述偏光片载台用于承载待测偏光片,并响应所述控制装置的控制指令进行旋转以改变其承载的所述待测偏光片的偏振方向;所述光接收器件用于接收经过所述偏光片载台后的测试光;所述控制装置分别与所述偏光片载台和所述光接收器件连接,用于:在所述偏光片载台上未放置所述待测偏光片时,从所述光接收器件中探测所述测试光的第一光谱;在所述偏光片载台上放置所述待测偏光片时,控制所述偏光片载台以一旋转角度进行多次旋转,以得到所述待测偏光片的穿透率满足设定要求的角度范围;以小于上轮旋转的旋转角度的一角度作为新的旋转角度,控制所述偏光片载台在上轮旋转得到的角度范围内以新的旋转角度进行多次旋转,以从所述上轮旋转得到的角度范围内选择出新的所述待测偏光片的穿透率满足所述设定要求的角度范围;执行本步骤至少一次以上后,从最终轮旋转得到的角度范围中选择一角度作为参考角度;在所述偏光片载台旋转至所述参考角度时,从所述光接收器件中探测所述测试光的第二光谱,并在所述偏光片载台旋转至与所述参考角度垂直的角度时,从所述光接收器件中探测所述测试光的第三光谱;根据得到的所述第一光谱、所述第二光谱和所述第三光谱计算所述待测偏光片的光学参数。
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