[发明专利]多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法

摘要

本发明涉及一种多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法。本发明在对待测器件进行检测时，可以首先通过x轴方向自由度调节机构、y轴方向自由度调节机构和z轴方向自由度调节机构对待测器件进行微调，寻找待测器件所要检测的区域所成的图像并调正，微调效率高，调正误差小。通过数字微镜坏点检测装置的调整臂的俯仰和滑杆的转动，可以调整光源的高度和出光角度，从而调整照射数字微镜的光入射高度和入射角度，以达到最佳照射效果；利用数字图像处理方法进行数字微镜的坏点检测，与人眼观察的方式相比，检测速度快，检测精度高。

主权项

1.一种利用数字微镜坏点检测装置实现数字微镜坏点检测的方法，其特征在于所述的数字微镜坏点检测装置包括多自由度调节装置，光源入射调整装置和视觉检测装置(7)；多自由度调节装置包括固定平台(2)，x轴方向自由度调节机构(3)，y轴方向自由度调节机构，z轴方向自由度调节机构；x轴方向自由度调节机构包括x轴方向微动平台(31)和至少两个调节块(32)；调节块(32)与固定平台(2)连接并可在其上沿X轴方向移动并锁紧固定，x轴方向微动平台(31)放置于固定平台(2)上并可通过调节块(32)限定所在的位置；y轴方向自由度调节机构包括y轴方向微动平台(41)和压紧端盖(44)；y轴方向微动平台(41)固定在x轴方向微动平台(31)上，其上具有两个竖直平行的侧板；其中一个侧板与压紧端盖(44)的对应侧板通过压簧(42)隔开，两者之间的距离可通过压簧(42)进行调节；y轴方向微动平台(41)的另一个侧板通过丝杆(43)与压紧端盖(44)的对应侧板隔开，两者之间的距离可通过丝杆(43)进行调节；z轴方向自由度调节机构包括z轴方向微动平台(51)及水平调节机构；z轴方向微动平台(51)可通过水平调节机构调节使其倾斜角度为0并锁紧固定；待测器件(9)放置在z轴方向微动平台(51)上，压紧端盖(44)上与待测器件(9)对应的位置加工有检测窗口(441)；视觉检测装置(7)放置于多自由度调节装置的一侧；光源入射调整装置包括夹具(81)，调整臂(83)，滑块(84)，滑杆(85)和光源；所述夹具(81)与视觉检测装置(7)的固定部件相连；调整臂(83)与夹具(81)相连且可作俯仰运动；滑块(84)位于调整臂(83)上且可在调整臂(83)上滑动并锁紧固定；滑杆(85)安装在滑块(84)上；光源安装在滑杆(85)上；/n数字微镜坏点检测的方法包括以下步骤：/n一、将数字微镜放置于多自由度调节装置的z轴方向微动平台上，调节其位置的同时寻找所要检测区域所成的图像并调正；然后调整数字微镜坏点检测装置的光源出光角度和高度；/n二、针对数字微镜的任一nxm区域，n为该区域的微镜列数，1≤n≤t；m为该区域的微镜行数，1≤m≤t；其中，t为视觉检测装置可分辨的最大长度；控制该区域微镜翻转+12°，在视觉检测装置上得到图案一，再控制该区域微镜翻转-12°得到图案二；/n三、对图案一、二这两幅图案进行自适应二值化，并做绝对差分，将绝对值小于s的图像区域像素值置0，得到图案三；0≤s≤250；/n四、进行边缘检测找到图案三的边界，并提取出所要的图像；/n五、根据步骤四得到的图像计算单个微镜对应的像素面积a，并以该像素面积a为单位分割该图像；/n六、将步骤四得到的图像进行线性翻转，去除像素面积小于w的非联通区域，得到图案四，图案四中的白色区域即为定义的坏点；/n七、计算图案四定义的坏点的坐标；/n八、利用二维光学平台移动数字微镜，依次使其他区域清晰成像于视觉检测装置，重复上述步骤得到数字微镜上其他区域坏点的坐标。/n