[发明专利]利用改进的3PIE技术检测光学元件内部缺陷的方法有效
| 申请号： | 201710678576.7 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107576633B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 马骏;魏聪;窦建泰;张天宇 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用改进的3PIE技术检测光学元件内部缺陷的方法，首先假设内部缺陷全部分布于光学元件后表面，利用传统叠层衍射成像算法计算各缺陷在光学元件后表面的复振幅分布，针对每个缺陷利用自动对焦算法确定其轴向位置，然后根据其位置确定三维叠层衍射算法的轴向切片，最后复原出内部缺陷的振幅和相位。本发明可以获得缺陷的位置、尺寸等信息，且结构简单，适用于大口径光学元件的检测，且具有高的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 改进 pie 技术 检测 光学 元件 内部 缺陷 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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