[发明专利]微机械结构元件有效
| 申请号： | 201710680047.0 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107720686B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | A·布莱特林;C·施文克;H·屈佩尔斯;N·席滕黑尔姆;V·施米茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种具有主延伸平面的微机械结构元件，其中，所述微机械结构元件包围第一空腔并且包围第二空腔，其中，在所述第一空腔中存在第一压力并且在所述第二空腔中存在第二压力，其中，微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第一层在所述第一空腔与所述第二空腔之间基本上垂直于主延伸平面地伸入微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第二层中。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 结构 元件 | ||
【主权项】：
一种微机械结构元件(1)，其具有主延伸平面(100)，其中，所述微机械结构元件(1)包围第一空腔(3)并且包围第二空腔(5)，其中，在所述第一空腔(3)中存在第一压力并且在所述第二空腔(5)中存在第二压力，其特征在于，所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第一层(7)在所述第一空腔(3)与所述第二空腔(5)之间基本上垂直于所述主延伸平面(100)地伸入所述微机械结构元件(1)的基本上平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二层(9)中。
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