[发明专利]具有微粒凹口的夹盘的晶圆台、处理工具与使用晶圆台的方法

摘要

提供一种具有多个微粒凹口的夹盘的晶圆台。在一些实施例中，夹盘包含多个凹槽与微粒凹口。多个凹槽的其中多者是径向地间隔设置且从该夹盘的顶面在夹盘内延伸至夹盘的基面。夹盘的基面分别定义凹槽的多个底面，且夹盘的顶面与夹盘的底面之间被夹盘的基面隔开。微粒凹口从夹盘的顶面在夹盘内延伸至间隔于夹盘的基面与夹盘的底面之间的位置。尤其，微粒凹口配置于工件的工件对准记号之下。

主权项

1.一种晶圆台，其特征在于，包含：一夹盘，具有多个凹槽与一微粒凹口，其中所述多个凹槽是径向地间隔设置，且所述多个凹槽从该夹盘的一顶面在该夹盘内延伸至该夹盘的一基面，其中该夹盘的该基面分别定义所述多个凹槽的多个底面，且该夹盘的该顶面与该夹盘的该底面之间被该夹盘的该基面隔开，其中该微粒凹口从该夹盘的该顶面在该夹盘内延伸至间隔于该夹盘的该基面与该夹盘的该底面之间的一位置，且其中该微粒凹口配置于一工件的一工件对准记号之下。