[发明专利]用于蚀刻和沉积间迭代过渡的RF功率比切换的系统和方法

摘要

本发明涉及用于蚀刻和沉积间迭代过渡的RF功率比切换的系统和方法。提供了一种系统，其包括第一线性马达、第一分离器支撑组件和控制器。所述第一线性马达包括基于提供给所述第一线性马达的电流而被线性驱动的轴。所述第一分离器支撑组件被配置为连接到所述第一线性马达的所述轴和匹配网络的第一电容器的杆。所述第一线性马达被配置为致动所述杆以相对于所述第一电容器的第二电极移动所述第一电容器的第一电极，从而改变所述第一电容器的电容。所述控制器连接到所述第一线性马达，并且被配置为通过调节提供给所述第一线性马达的所述电流来调节提供给等离子体处理室的第一射频反应器线圈的功率。

主权项

一种系统，其包括：第一线性马达，其包括基于提供给所述第一线性马达的电流而被线性驱动的轴；第一分离器支撑组件，其被配置为连接到所述第一线性马达的所述轴和匹配网络的第一电容器的杆，其中所述第一线性马达被配置为致动所述杆以相对于所述第一电容器的第二电极移动所述第一电容器的第一电极，从而改变所述第一电容器的电容；以及控制器，其连接到所述第一线性马达并且被配置为通过调节提供给所述第一线性马达的所述电流来调节提供给等离子体处理室的第一射频反应器线圈的功率。