[发明专利]具侧边空腔的微型集音器及CMOS麦克风单晶片有效
| 申请号： | 201710682454.5 | 申请日： | 2016-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN107682797B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 陈健章;梁贻德;林晓逸;杨正光 | 申请（专利权）人： | 风起科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张瑾 |
| 地址： | 中国台湾桃园市中坜区中大*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具侧边空腔的微型集音器及CMOS麦克风单晶片，具侧边空腔的微型集音器包含：一基底金属层、一可动薄膜、一环状侧壁及一侧边金属层；其中，可动薄膜与基底金属层面对而构成篓空的一振动空间；侧边金属层形成于可动薄膜的旁侧，由环状侧壁固定而与可动薄膜的周边间隔一距离而环绕可动薄膜，侧边金属层与基底金属层面对而形成侧边空腔，以辅助集音。 | ||
| 搜索关键词： | 侧边 空腔 微型 集音器 cmos 麦克风 晶片 | ||
【主权项】：
1.一种具侧边空腔的微型集音器，其特征在于，包含：/n一基底金属层；/n一可动薄膜，与该基底金属层面对而构成篓空的一振动空间；/n一环状侧壁；及/n一侧边金属层，形成于该可动薄膜的旁侧，由该环状侧壁固定而与该可动薄膜的周边间隔一距离而环绕该可动薄膜，该侧边金属层与该基底金属层面对而形成一侧边空腔，以辅助集音；/n其中该可动薄膜为内环支撑型可动薄膜，该内环支撑型可动薄膜是由数个支撑柱与该内环支撑型可动薄膜连接而形成支撑，该内环支撑型可动薄膜具有数个叶片结构，每个该叶片结构各由一连续沟槽定义出一悬浮梁臂与一箝制梁臂，并由该些叶片结构的该悬浮梁臂连接一悬浮支点，该些支撑柱均匀配置于该些叶片结构的该箝制梁臂相对于该悬浮梁臂的另一侧的边缘下方，以提供该些叶片结构的支撑力。/n
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