[发明专利]一种利用等离子体激活电子倍增器的方法有效
| 申请号： | 201710683508.X | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107564785B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 崔敬忠;郭磊;张玲;侍椿科;杨炜;涂建辉;陈江 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | H01J9/50 | 分类号： | H01J9/50;H01J43/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，属于真空电子技术领域。本发明所述方法是利用等离子体的高反应活性清除电子倍增器表面的污染物，同时等离子体态的氧可以进入电子倍增器的功能材料内部，填补功能材料在大电子束流轰击下形成的缺陷位，从而起到激活性能衰退或失效电子倍增器的作用；与常规的加热退火处理工艺相比，本发明所述方法简化了工艺过程，能够实现电子倍增器功能的快速激活，而且电子倍增器功能的恢复效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 等离子体 激活 电子倍增器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用等离子体激活电子倍增器的方法，其特征在于：所述方法步骤如下，将性能衰退或失效的电子倍增器放入到等离子体清洗设备后，对等离子体清洗设备先进行抽真空处理，再充入含有氧原子的氧化性气体，使等离子体清洗设备内部气压为50mTorr～200mTorr，然后在50W～200W的输入功率下处理5min～120min，利用等离子体的高反应活性清除电子倍增器打拿极二次电子发射薄膜表面的污染物，同时等离子体态的氧可以进入发射薄膜材料内部，填补在大电子束流轰击下形成的缺陷位，实现电子倍增器功能的激活。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710683508.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制备软化水用盐水配制箱
- 下一篇：一体连通式水处理罐
