[发明专利]用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法以及微机械装置有效
| 申请号： | 201710684081.5 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107720687B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | J-P·施塔德勒;J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B1/00;B81C1/00;B23K26/382 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械装置，具有第一衬底(11)、具有至少一个第一空腔(100)、具有通到第一空腔(100)的封闭的通道(1)，其中，通道穿过第一衬底(11)延伸。本发明的核心在于，通道(1)具有激光钻孔的第一部分区段(12)和等离子蚀刻的第二部分区段(13)，其中，等离子蚀刻的第二部分区段(13)具有通到第一空腔(100)的开口，其中，通道(1)在第一部分区段(12)中通过由至少第一衬底(11)的熔化物构成的熔化封口部(5)封闭。本发明还涉及用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 装置 组合式 激光 钻孔 等离子 蚀刻 方法 以及 | ||
【主权项】：
用于制造微机械装置的方法，具有以下方法步骤：(a)提供微机械初级产品，该初级产品具有第一衬底(11)和至少一个第一空腔(100)，其中，第一空腔(100)至少由第一衬底(11)限界，(b)施加附加层(9)到第一衬底(11)上，(c)激光钻孔穿过附加层(9)并由此制造掩模，(d)穿过掩模对第一衬底(11)的第一部分区段(12)进行激光钻孔，(e)穿过掩模并穿过第一部分区段(12)对第一衬底(11)的第二部分区段(13)这样进行等离子蚀刻，使得建立穿过第一衬底(11)通往所述空腔(100)的通道(1)，(f)激光熔化第一部分区段(12)的衬底材料并且以熔化物封闭所述通道(1)。
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