[发明专利]正型感光性树脂组成物、图案化膜及凸块的制造方法有效
申请号: | 201710685789.2 | 申请日: | 2017-08-11 |
公开(公告)号: | CN107870516B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 庄国平;刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/008;G03F7/004;H01L21/027 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 中国台湾台南市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: |
本发明涉及一种正型感光性树脂组成物、图案化膜及凸块的制造方法。一种正型感光性树脂组成物,包含酚醛系树脂组分(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯系化合物(B)、甘油酯系组分(C)及溶剂(D)。该甘油酯系组分(C)包括结构式(1)所示的甘油酯系化合物(C‑1), |
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搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 图案 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种正型感光性树脂组成物,其特征在于包含:酚醛系树脂组分(A);邻萘醌二叠氮磺酸酯系化合物(B);溶剂(D);甘油酯系组分(C),包括结构式(1)所示的甘油酯系化合物(C‑1),R1表示碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基,或碳数为2至10的炔基;R2及R3各自表示碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为2至10的炔基,或且条件是R2及R3中一者为q为0至3,n为10至20,m为2n‑q、2n‑2‑q、2n‑4‑q或2n‑6‑q,R4表示碳数为1至21的烷基、碳数为2至21的烯基,或碳数为2至21的炔基,R5表示羟基或R6表示碳数为1至21的烷基、碳数为2至21的烯基,或碳数为2至21的炔基,当R4、R5及R6为多个时,所述R4为相同或不同、所述R5为相同或不同,所述R6为相同或不同。
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