[发明专利]掩模版传输系统及方法、光刻设备及方法在审
| 申请号： | 201710686899.0 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN109388031A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王刚;张荣军;黄栋梁 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模版传输系统，包括smif版架、版盒以及用于转移掩模版的版叉，smif版架包括有支撑限位部，版盒包括有版盒限位部；版叉包括版叉本体和对称连接在版叉本体上的两根叉杆，叉杆包括用于支撑掩模版的转移部和防撞部，防撞部包括水平结构的第一防撞部和竖直结构的第二防撞部，第一防撞部水平连接于转移部背离掩模版的一侧，第一防撞部连接于转移部和第二防撞部之间，并且第二防撞部、第一防撞部以及转移部的侧壁形成一凹槽结构；当版叉从smif版架或版盒中取出或放入掩模版的时候，支撑限位部或版盒限位部位于凹槽结构内。本发明提供的一种掩模版传输系统能够达到转移安全性高的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 防撞 掩模版 版盒 传输系统 支撑限位部 凹槽结构 叉杆 对称连接 光刻设备 竖直结构 水平结构 水平连接 限位部位 限位部 侧壁 放入 取出 背离 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种掩模版传输系统，包括smif版架、版盒以及用于转移掩模版的版叉，所述smif版架包括有若干层L形状的支撑体，所述支撑体包括水平结构的支撑连接部和竖直结构的掩模版支撑部，所述支撑连接部的底端还固定有支撑限位部，所述版盒包括有版盒顶板、版盒侧壁、版盒底板以及有用于支撑所述掩模版的版盒支座，其特征在于，所述版盒侧壁上还固定有版盒挡板，所述版盒挡板包括水平连接在版盒侧壁的版盒连接部以及竖直连接在版盒连接部端部的版盒限位部，所述版盒侧壁、版盒连接部以及版盒限位部形成H形结构；所述版叉包括板叉本体和对称连接在板叉本体上的两根叉杆，所述叉杆包括用于支撑掩模版的转移部和防撞部，所述防撞部包括水平结构的第一防撞部和竖直结构的第二防撞部，所述第一防撞部水平连接于所述转移部背离掩模版的一侧，所述第一防撞部连接于所述转移部和所述第二防撞部之间，并且所述第二防撞部、所述第一防撞部以及转移部的侧壁形成一凹槽结构；当所述版叉从所述smif版架或版盒中取出或放入掩模版的时候，所述支撑限位部或版盒限位部位于所述凹槽结构内。
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