[发明专利]硬掩模用组合物

摘要

本发明提供一种硬掩模用组合物，更详细而言，提供通过包含含有特定结构的重复单元的共聚物和溶剂，从而能够形成溶解性和涂布均匀性优异且成膜后耐裂纹性优异的抗蚀剂下层膜(硬掩模)的硬掩模用组合物。

主权项

一种硬掩模用组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物包含下述化学式1的重复单元和下述化学式2的重复单元：化学式1化学式2式中，所述A1为选自由下述化学式A1‑1～化学式A1‑5组成的组中的任一个：化学式A1‑1化学式A1‑2化学式A1‑3化学式A1‑4化学式A1‑5A2由下述化学式A2‑1表示：化学式A2‑1所述A1和A2各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，所述Ra为氢、碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，所述B为碳原子数1～6的烷基、烯基、炔基或碳原子数6～30的芳基，所述B为碳原子数6的芳基的情况下，被碳原子数1～6的烷基、羟基、烷氧基或苯基取代，所述烷氧基包含碳原子数1～4的烷基、烯丙基或碳原子数6～12的芳基，所述n和m各自独立地为1～190的整数。