[发明专利]高纯度分配单元

摘要

本发明提供了一种高纯度分配单元。本文的技术包括一种基于囊状部的分配系统，该分配系统使用了构造成选择性地扩张及收缩以帮助进行分配动作的长形囊状部。该分配系统对通常伴随着用于微型品制造的流体过滤而出现的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了一种高纯度和高精度的分配单元。模块化液压单元容置长形囊状部以及与囊状部的外表面接触的液压流体。当加压的过程流体位于长形囊状部中时，液压控制可以选择性地使囊状部上的压力减小以引起扩张并且随后选择性地使液压压力增大，以帮助进行分配动作。

主权项

一种用于流体输送的装置，所述装置包括：液压流体壳体，所述液压流体壳体限定具有长形囊状部的室，所述长形囊状部定位在所述室内，所述长形囊状部从室入口开口延伸至室出口开口，所述室提供囊状部扩张约束部，所述囊状部扩张约束部允许所述长形囊状部扩张至预定容积并且防止所述长形囊状部扩张超过所述预定容积；所述长形囊状部在所述室入口开口与所述室出口开口之间限定呈线性的流体流动路径，所述长形囊状部构造成在所述室内横向地扩张及横向地收缩，使得当所述长形囊状部容纳过程流体时，所述长形囊状部内的所述过程流体的体积能够增大及减小；所述室构造成容纳与所述长形囊状部的外表面接触的液压流体；所述液压流体壳体包括与所述室流体连通的移位室，所述移位室包括移位构件，所述移位构件能够插入到所述移位室中以及能够从所述移位室缩回；以及控制器，所述控制器配置成启动容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过使所述移位构件的一部分从所述移位室缩回而使所述长形囊状部上的液压流体压力减小，由此引起所述长形囊状部的扩张；所述控制器配置成所述启动容积控制系统，所述容积控制系统选择性地通过将所述移位构件的一部分插入所述移位室中而使所述长形囊状部上的液压流体压力增大，由此引起所述长形囊状部的收缩。