[发明专利]具有弯液面控制的高精度分配系统

摘要

本发明提供了一种用于分配流体的装置。本文中的技术方案包括使用长形囊状部的基于囊状部的分配系统，该长形囊状部扩张以及收缩以辅助分配动作。该分配系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了高纯度且高精度的分配单元。弯液面传感器检测过程流体在喷嘴处的弯液面的位置。长形囊状部单元通过使囊状部选择性地扩张或收缩而用于使弯液面的位置保持在特定位置处，从而移动弯液面位置或保持弯液面位置。长形囊状部的扩张还用于在完成分配动作之后的回吸动作。

主权项

一种用于分配流体的装置，所述装置包括：液压流体壳体，所述液压流体壳体限定了具有室入口开口和室出口开口的室；长形囊状部，所述长形囊状部位于所述室内，所述长形囊状部从所述室入口开口延伸至所述室出口开口，所述长形囊状部在所述室入口开口与所述室出口开口之间限定了直线形流体流动路径，所述长形囊状部构造成在所述室内横向扩张以及横向收缩，使得在所述长形囊状部包含一定体积的过程流体时，所述长形囊状部内的所述过程流体的体积能够增大以及减小；过程流体导管，所述过程流体导管将所述室出口开口连接至分配喷嘴；弯液面传感器，所述弯液面传感器配置成连续监测所述过程流体在所述装置的喷嘴区域内的弯液面的位置，所述弯液面传感器配置成连续发送所述弯液面的位置的数据；以及控制器，所述控制器配置成接收所述弯液面的位置的数据并且配置成通过激活下述压力控制系统而使所述过程流体的弯液面的位置保持在所述喷嘴区域内的预定位置：所述压力控制系统选择性地减小所述长形囊状部的外表面上的使所述长形囊状部扩张的液压流体压力，以及所述压力控制系统选择性地增大所述长形囊状部的所述外表面上的使所述长形囊状部收缩的液压流体压力。