[发明专利]一种石墨舟快速夹紧装置在审
| 申请号： | 201710689755.0 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107419240A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 张学强;戴军;张建伟;贾宇鹏 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨舟快速夹紧装置，包括固定机构；以及与固定机构相对设置的至少一组夹紧机构，其中，夹紧机构与固定机构相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构包括固定的底板以及滑动组件，所述滑动组件可在底板上相对固定机构往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。根据本发明，其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 快速 夹紧 装置 | ||
【主权项】：
一种石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，包括：固定机构(2)；以及与固定机构(2)相对设置的至少一组夹紧机构(1)，其中，夹紧机构(1)与固定机构(2)相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构(1)包括固定的底板(11)以及滑动组件，所述滑动组件可在底板(11)上相对固定机构(2)往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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