[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀系统在审
| 申请号： | 201710692335.8 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107686968A | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 徐超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀坩埚以及一种包括所述蒸镀坩埚的蒸镀系统，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和缠绕在所述坩埚本体四周的至少两个加热装置；所述坩埚本体包括至少两个筒状结构，每个所述筒状结构具有不同的直径，所述坩埚本体用于盛放蒸镀材料；每个所述筒状结构对应设置一个所述加热装置，所述加热装置对所述对应筒状结构中的蒸镀材料进行加热。本发明提供一种蒸镀坩埚以及一种包括所述蒸镀坩埚的蒸镀系统，不仅可以有效改善目前蒸镀系统中蒸镀坩埚横向和纵向温差过大的问题，而且可以减少蒸镀材料的浪费，提高材料的利用率，降低工厂的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体和缠绕在所述坩埚本体四周的至少两个加热装置；所述坩埚本体包括至少两个筒状结构，每个所述筒状结构具有不同的直径，所述坩埚本体用于盛放蒸镀材料；每个所述筒状结构对应设置一个所述加热装置，所述加热装置对所述对应筒状结构中的蒸镀材料进行加热。
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