[发明专利]一种基于气液两相流体的透明窗产生装置和在线测量系统有效
申请号: | 201710692616.3 | 申请日: | 2017-08-14 |
公开(公告)号: | CN107367586B | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 高咏生;谢福宝 | 申请(专利权)人: | 香港科技大学 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
地址: | 中国香港*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | 本发明提供一种用于测量系统的基于气液两相流体的透明窗产生装置,用以排开机加工环境中的冷却剂,透明窗产生装置包括:至少一组测量通道和具有喷气通道和喷液通道的排液嵌套结构,每组测量通道都包括探测信号入口、探测信号出口和探测口,探测口形成在执行面上,且测量通道用于将探测信号入口入射的信号引导至探测口,并将从探测口入射的信号引导至探测信号出口;喷气通道的出口形成在执行面上,且喷气通道设置为使得该喷气通道喷出的气体朝远离探测口的方向流动;喷液通道的出口形成在执行面上,喷液通道设置为使得该喷液通道喷出的液体朝远离探测口的方向流动。本发明还提供一种在线测量系统,能够对工件表面进行精确测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 两相 流体 透明 产生 装置 在线 测量 系统 | ||
【主权项】:
1.一种基于气液两相流体的透明窗产生装置,该透明窗产生装置用于在线测量系统,其特征在于,所述透明窗产生装置的一侧表面为执行面,所述执行面用于朝向待检测的工件设置,所述透明窗产生装置包括至少一组测量通道和至少一组排液嵌套结构,每组所述排液嵌套结构包括喷气通道和喷液通道:每组所述测量通道都包括探测信号入口、探测信号出口和探测口,所述探测口形成在所述执行面上,且所述测量通道用于将探测信号入口入射的信号引导至所述探测口,并将从探测口入射的信号引导至所述探测信号出口;每组所述喷气通道对应至少一组所述测量通道,所述喷气通道的出口形成在所述执行面上,所述喷气通道用于朝相应的所述探测口的外围喷出气体,且所述喷气通道设置为使得该喷气通道喷出的气体朝远离该喷气通道对应的探测口的方向流动;每组所述喷气通道对应一组所述喷液通道,所述喷液通道的出口形成在所述执行面上,所述喷液通道环绕在相应的所述喷气通道外部,以用于朝相应的所述喷气通道的出口的外围喷出液体,且所述喷液通道设置为使得该喷液通道喷出的液体朝远离该喷液通道对应的所述喷气通道的方向流动。
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