[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法和元件制造方法有效
| 申请号： | 201710696016.4 | 申请日： | 2012-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107479332B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 汤在彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的对基板(P)进行曝光处理的曝光装置，具备：具有将基板(P)的一部分在确保平坦度的状态下保持的基板保持具(PH)、相对曝光位置(曝光区域(IA))于X轴方向移动的微动载台与将基板(P)驱动于XY平面内的Y轴方向的基板Y步进运送装置(88)。此场合，以基板保持具(PH)在确保平坦度的状态下保持基板(P)的一部分的微动载台相对曝光区域(IA)的X轴方向移动，在使用基板Y步进运送装置(88)的基板(P)于Y轴方向移动的前后进行，据以进行对基板(P)上的多个区域的曝光处理。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平板 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
一种曝光装置，其具备：第1支承部，吸附并支承物体的一部分；第2支承部，非接触支承该物体的其他部分；投影光学系，对藉由该第1及第2支承部所支承的该物体的该一部分照射照明光。
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