[发明专利]用于形成硅片批的装卸装置及装卸方法

摘要

本发明涉及一种用于形成硅片批的装卸装置及装卸方法，其特征是包括平移机构、升降机构、第一抓取机构和第二抓取机构；所述升降机构安装在平移机构的移动端上，升降机构的升降端上安装连接座，连接座底部安装第一抓取机构和第二抓取机构；所述第一抓取机构包括第一抓取组件、第一左右调整驱动件和第一前后调整驱动件，第一左右调整驱动件和第一前后调整驱动件能够驱动第一抓取组件分别实现左右、前后移动；所述第二抓取机构包括第二抓取组件和第二左右调整驱动件，第二左右调整驱动件能够驱动第二抓取组件实现左右移动；所述第一抓取组件和第二抓取组件均包括旋转驱动件和吸盘。本发明能够实现从同一个花篮内取出两组硅片，结构紧凑，节省空间。

主权项

一种用于形成硅片批的装卸装置，其特征是：包括平移机构（1）、升降机构（2）、第一抓取机构和第二抓取机构；所述升降机构（2）安装在平移机构（1）的移动端上，平移机构（1）能够驱动升降机构（2）在花篮和工艺站夹具之间移动；所述升降机构（2）的升降活动端上安装连接座（5），连接座（5）底部安装第一抓取机构和第二抓取机构；所述第一抓取机构包括第一抓取组件（37）、第一左右调整驱动件（31）和第一前后调整驱动件（38），第一左右调整驱动件（31）和第一前后调整驱动件（38）能够驱动第一抓取组件（37）分别实现左右、前后移动；所述第二抓取机构包括第二抓取组件（45）和第二左右调整驱动件（41），第二左右调整驱动件（41）能够驱动第二抓取组件（45）实现左右移动；所述第一抓取组件（37）和第二抓取组件（45）均包括有旋转驱动件（451）和若干个用于吸取花篮中硅片组的吸盘（454），吸盘（454）呈并排等间距设置；所述吸盘（454）连接至旋转驱动件（451）的动力输出端，能够实现旋转。