[发明专利]一种缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201710700388.X | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109402640B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 张强;陈文;莫林;谷坛;熊钢;张昌会;窦丽媛;田源;彭芳;宋立东;黄刚华;江晶晶;顾锡奎 | 申请（专利权）人： | 中国石油天然气股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/173 | 分类号： | C23F11/173;C23F11/16 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 董亚军 |
| 地址： | 100007 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缓蚀剂及其制备方法，所述缓蚀剂包括以下质量分数的组分：10‑15％含硫咪唑啉、5‑10％含聚乙二醇的酯类、5％‑10％助剂、65％‑85％有机溶剂。所述制备方法包括：将摩尔比为(0.8‑0.9):1:(0.05‑0.1)的有机胺A、有机酸B和聚乙二醇C充分混合后升温至220‑240℃，反应2‑3小时后停止加热，待体系冷却至100‑140℃时，再向体系中加入含硫有机化合物D，并继续反应2‑4小时；然后在所述混合溶液中加入5‑10重量份的助剂和65‑85重量份的有机溶剂，得到所述缓蚀剂。本发明通过在含硫咪唑啉缓蚀剂中引入含聚乙二醇的酯类，利用含聚乙二醇的酯类中的醚键使体系的泡沫较少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缓蚀剂，其特征在于，所述缓蚀剂包括以下质量分数的组分：10‑15％含硫咪唑啉、5‑10％含聚乙二醇的酯类、5％‑10％助剂、65％‑85％有机溶剂。
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