[发明专利]一种铁电微波滤波器在审
申请号: | 201710703585.7 | 申请日: | 2017-08-16 |
公开(公告)号: | CN107464970A | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 李彼;刘秋香;李万朋;唐新桂;蒋艳平 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01P1/207 | 分类号: | H01P1/207;H01P1/215 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种铁电微波滤波器,包括金属腔体、设置在金属腔体内的介质谐振器、复合在腔体内壁上的Bi2NiMnO6薄膜器件以及设置在腔壁上的调谐螺丝;所述Bi2NiMnO6薄膜器件包括依次复合的衬底、底电极、Bi2NiMnO6薄膜和顶电极。本发明采用TE01δ模介质谐振腔滤波器,以Bi2NiMnO6薄膜为滤波器的介电材料,提高了滤波器的介电常数和调谐率,并且由于使用了高介电调谐Bi2NiMnO6薄膜材料,节约了材料用量,使制造成本明显下降。实验结果表明,本申请中的滤波器介电常数为5~18,介电调谐率为70~93%。 | ||
搜索关键词: | 一种 微波 滤波器 | ||
【主权项】:
一种铁电微波滤波器,包括金属腔体、设置在金属腔体内的介质谐振器、复合在腔体内的Bi2NiMnO6薄膜器件以及设置在腔壁上的调谐螺丝;所述Bi2NiMnO6薄膜器件包括依次复合的硅衬底、底电极、Bi2NiMnO6薄膜和顶电极。
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