[发明专利]一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置有效
| 申请号： | 201710705141.7 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107564792B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 荒见淳一 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 21229 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置，包含被包覆在一盘体中的一金属层及用于传递RF讯号的一金属棒。其中，该金属棒具有一上端及一下端，该金属棒的上端电性耦接至该电极层，且该金属棒的上端与该金属层之间具有一磁性金属接触。该金属棒的材质选自钨或铬。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 等离子体 处理 设备 rf 讯号 传递 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置，其特征在于，包含：/n一金属层，被包覆在一盘体中；/n一金属棒，用于传递RF讯号，该金属棒具有一上端及一下端，该金属棒的上端电性耦接至该金属层，且该金属棒的上端与该金属层之间具有一磁性金属接触；该金属层的材质为钨，该金属棒的材质为钨或铬。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳拓荆科技有限公司，未经沈阳拓荆科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710705141.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种家用电离式净水机装置
- 下一篇：一种循环水电化学处理设备
