[发明专利]硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法

摘要

本发明涉及硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法，步骤为：将硅片先后置于碱洗液和酸洗液浸泡使硅片表面羟基化；置于巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中反应使硅片硅烷化；先后分别置于硝酸银溶液和硼氢化钠溶液中以生成银籽晶；置于硝酸银和聚乙烯吡咯烷酮的混合溶液中，之后滴入抗坏血酸溶液以使银籽晶不断长大；重复多次后冲洗，并超声吹干。本发明借助于具有双功能的有机分子先将银籽晶固定于硅片上，之后原位还原得到银籽晶，再通过后期的多次循环生长，可得到致密的、均匀的银颗粒膜层，此金属颗粒膜层在SERS应用中，可以在较大的范围内（如微米范围）保持均匀的、较高的增强效果，而且此制备方法重复性好。

主权项

1.硅片上银纳米颗粒致密层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：将硅片先后置于碱洗液和酸洗液浸泡各15分钟，以使硅片表面羟基化；步骤二：将步骤一得到的硅片置于巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中，40℃温度下反应4‑10小时，或室温下反应24‑40小时，以使硅片硅烷化；巯基丙基三甲氧基硅烷的甲苯溶液中，巯基丙基三甲氧基硅烷的体积浓度1‑5%；步骤三：将步骤二得到的硅片置于0.25mM的硝酸银溶液中浸泡6‑24小时；步骤四：取出步骤三得到的硅片，置于5mM的硼氢化钠溶液中，反应30分钟；步骤五：取出步骤四得到的硅片，置于硝酸银和聚乙烯吡咯烷酮的混合溶液中，搅拌30分钟，之后滴入1ml、0.5mM的抗坏血酸溶液；步骤六：取出步骤五得到的硅片，用去离子水冲洗，重复步骤五2‑5次；步骤七：最后取出反应完的硅片用大量去离子水冲洗，并在去离子水中超声2分钟，吹干。