[发明专利]一种可旋转可顶升的基片台有效
| 申请号： | 201710707141.0 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109402591B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;龚俊;彭立波 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可旋转可顶升的基片台，包括基片盘、顶杆、密封组件、升降驱动机构、以及旋转驱动机构，所述基片盘与所述顶杆同轴布置，所述密封组件位于所述顶杆外周，且上端与所述基片盘连接，下端与所述顶杆下端连接，所述旋转驱动机构与所述密封组件相连，所述顶杆上端与所述基片盘之间设有用来传递旋转动力的传动件，所述传动件与所述基片盘间隙配合，所述升降驱动机构设于所述顶杆下方，所述密封组件上设有用来配合顶杆升降的伸缩段。本发明具有可靠性高，密封性能好，能驱动基片旋转和升降等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 可顶升 基片台 | ||
【主权项】：
1.一种可旋转可顶升的基片台，其特征在于：包括基片盘（1）、顶杆（2）、密封组件（3）、升降驱动机构（5）、以及旋转驱动机构（6），所述基片盘（1）与所述顶杆（2）同轴布置，所述密封组件（3）位于所述顶杆（2）外周，且上端与所述基片盘（1）连接，下端与所述顶杆（2）下端连接，所述旋转驱动机构（6）与所述密封组件（3）相连，所述顶杆（2）上端与所述基片盘（1）之间设有用来传递旋转动力的传动件（7），所述传动件（7）与所述基片盘（1）间隙配合，所述升降驱动机构（5）设于所述顶杆（2）下方，所述密封组件（3）上设有用来配合顶杆（2）升降的伸缩段（31）。
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