[发明专利]夹持对位装置及方法有效
| 申请号： | 201710710298.9 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107475679B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘思洋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/68 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种夹持对位装置及方法。所述装置包括多个夹持对位机构及至少一个驱动装置，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板周围，每一夹持对位机构包括一升降对位部及一夹持部，升降对位部的横截面为椭圆形，夹持部设置在升降对位部的一端且突出于升降对位部，夹持部的突出方向与升降对位部的横截面的短轴的延伸方向具有一夹角，升降对位部与驱动装置连接，驱动装置能够驱动升降对位部升降，并能够驱动升降对位部在第一位置与第二位置之间旋转，升降对位部带动夹持部升降并在远离基板的方向及基板上方之间旋转。本发明优点是，驱动装置驱动升降对位部及夹持部，对位及夹持精度高，速度和位置可自由调整，可有效降低破片风险，提高机台生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 对位部 升降 夹持部 夹持 驱动装置 对位机构 基板 驱动 夹持对位装置 机台 第二位置 第一位置 基板周围 生产效率 突出方向 自由调整 短轴 对位 破片 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种夹持对位装置，其特征在于，包括多个夹持对位机构及至少一个驱动装置，多个夹持对位机构分布在待夹持的基板周围，每一所述夹持对位机构包括一升降对位部及一夹持部，所述升降对位部的横截面为椭圆形，所述夹持部设置在所述升降对位部的一端且突出于所述升降对位部，所述夹持部的突出方向与所述升降对位部的横截面的短轴的延伸方向具有一夹角，所述升降对位部与所述驱动装置连接，所述驱动装置能够驱动所述升降对位部升降，并能够驱动所述升降对位部在第一位置与第二位置之间旋转，所述升降对位部带动所述夹持部升降并在远离基板的方向及基板上方之间旋转；其中，所述第一位置是指所述升降对位部的长轴与所述待夹持的基板的边缘平行的位置，所述第二位置是指所述升降对位部的短轴与所述待夹持的基板的边缘平行的位置。/n
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