[发明专利]一种微型超级电容器的制备工艺在审
| 申请号： | 201710710319.7 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107492454A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 李祥明;邵金友;田洪淼;聂帮帮;李聪明;王超 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01G11/84 | 分类号： | H01G11/84;H01G11/86 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种微型超级电容器的制备工艺，先制备压印模板，然后利用压印和紫外固化工艺制备出叉指电极沟道，再利用刮刀将导电材料刮涂进沟道，最后将电解质水溶液涂在上面自然固化，得到了基于刮涂成形的超级电容，本发明能够实现快速、简便、低成本地微型超级电容器的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 超级 电容器 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种微型超级电容器的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：第一步，压印模板的制备：在硅片表面利用光刻与刻蚀工艺加工出所需要的叉指电极的图形结构，然后将PDMS混合物旋涂在硅片表面，加热固化后，将PDMS从硅片表面揭下，得到压印模板；第二步，叉指电极沟道的制备：采用PET薄膜作为柔性基底，在上面旋涂紫外固化胶液体，利用压印模板压印紫外固化胶，然后在紫外灯下照射固化后，制备出叉指电极沟道；第三步，叉指电极的刮涂成形：首先，在叉指电极沟道表面，滴加用于制备电容器件的导电材料，然后利用刮刀将导电材料刮进沟道内，在烘台上加热至120℃，经过30s后，再将表面多余的导电材料擦掉，只保留叉指电极沟道内的导电材料，在烘台上加热至120℃，经过20min，得到叉指电极；第四步，电解质材料的成形：在叉指电极表面旋涂上PVA/H2SO4电解质的水溶液，经过自然蒸发固化，水分蒸发完全，就制备出了固体的微型超级电容器。
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