[发明专利]晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法

摘要

本发明公开了一种晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法，晶圆在位检测装置包括压力介质源、多个检测孔、压力检测器、流量控制器、压力控制器和控制器，压力介质源用于提供具有预定压力的介质；每个检测孔均通过管路与压力介质源相连；压力检测器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便检测管路中的压力；流量控制器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便调节管路中的流量；压力控制器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便调节管路中的压力；控制器与压力检测器相连以便根据压力检测器的压力检测值判断晶圆是否在位。根据本发明的晶圆在位检测装置具有分辨率高、稳定性高等优点。

主权项

一种晶圆在位检测装置，其特征在于，包括：压力介质源，所述压力介质源用于提供具有预定压力的介质；多个检测孔，每个所述检测孔均通过管路与所述压力介质源相连，其中所述多个检测孔并联；压力检测器，所述压力检测器设在所述管路上且位于所述压力介质源与所述多个检测孔之间以便检测所述管路中的压力；流量控制器，所述流量控制器设在所述管路上且位于所述压力介质源与所述的压力检测器之间以便调节所述管路中的流量；压力控制器，所述压力控制器设在所述管路上且位于所述压力介质源与所述的压力检测器之间以便调节所述管路中的压力；和控制器，所述控制器与所述压力检测器相连以便根据所述压力检测器的压力检测值判断晶圆是否在位。