[发明专利](001)取向CdS柔性可拉伸光敏薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201710712152.8 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109402579B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王充;于玫;杨灿灿;于喆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种柔性可拉伸光敏材料及其制备方法，所述柔性可拉伸光敏材料包括柔性基底，位于柔性基底上的缓冲层，以及位于缓冲层上的(001)取向的CdS薄膜。所述方法包括：1)在柔性基底上制备电阻率在5KΩ·m～5MΩ·m的缓冲层；2)采用磁控溅射的方法在缓冲层上制备(001)取向的CdS薄膜，且磁控溅射的参数为：靶枪功率密度为5W/m |
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| 搜索关键词： | 001 取向 cds 柔性 拉伸 光敏 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性且具有拉伸性能的光敏材料，其特征在于，所述光敏材料包括柔性基底，位于柔性基底上的缓冲层，以及位于缓冲层上的(001)取向的CdS薄膜。
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