[发明专利]一种薄膜应力测试用衬底夹具在审
| 申请号： | 201710714153.6 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN109406017A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 杨勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜应力测试用衬底夹具，属于夹具技术领域包括基座和夹片；基座上设置有多个装夹部，靠近每个装夹部的两端分别设置有装夹孔；夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在装夹部上，且基座的一端还设置有悬挂孔。本方案中，装夹部可以是平槽，连接件依次穿过连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在平槽上，保证镀膜面尽量少的受到治具影响的同时，又保证样品背面被完全遮挡，解决了现有技术中镀膜时采用的样品(长条状)只能有一面进行镀膜，另一面必须进行完全遮挡，给操作带来不必要的麻烦，同时镀膜面受到夹具的影响较大，使镀膜的效果差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装夹部 连接孔 装夹孔 薄膜应力测试 衬底夹具 样品固定 镀膜面 连接件 夹片 平槽 遮挡 穿过 夹具 夹具技术领域 长条状 悬挂孔 治具 背面 保证 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜应力测试用衬底夹具，其特征在于，包括基座和夹片；所述基座上设置有多个装夹部，靠近每个所述装夹部的两端分别设置有装夹孔；所述夹片上设置有连接孔，连接件依次穿过所述连接孔和装夹孔，以使待镀膜样品固定在所述装夹部上，且所述基座的一端还设置有悬挂孔。
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