[发明专利]传感器组件在审
| 申请号： | 201710715973.7 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107764299A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | M·斯奇博理;D·勒曼 | 申请（专利权）人： | 盛思锐股份公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种传感器组件。一种传感器组件，包括基板布置(1)和安装到基板布置(1)的传感器芯片(2)。感测元件(24)集成在传感器芯片(2)上或其中，并且对流体的至少一个参数敏感。进入开口设置在基板布置(1)中，使得流体能够接近感测元件(24)。布置在基板布置(1)的至少一部分上的镀敷金属(18)密封包含传感器芯片(2)的腔室(5)，该部分包括限定进入开口的壁或者面向传感器芯片(2)的区域中的一个或多个。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 组件 | ||
【主权项】：
一种传感器组件，包括基板布置(1)，传感器芯片(2)，安装到所述基板布置(1)，感测元件(24)，集成在所述传感器芯片(2)上或所述传感器芯片(2)中，并且对流体的至少一个参数敏感，所述基板布置(1)中的进入开口，使得流体能够接近所述感测元件(24)，镀敷金属(18)，布置在所述基板布置(1)的至少一部分上，该部分包括限定所述进入开口的壁或者面向所述传感器芯片(2)的区域中的一个或多个。
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