[发明专利]板状物搬送装置和加工装置

摘要

提供板状物搬送装置和加工装置，无需增加用于调整装置的各部位的位置的所需工时而抑制装置的破损。板状物搬送装置(1)具有对被加工物进行保持的保持单元(2)以及使保持单元移动的移动机构。保持单元包含：至少两个保持部件(10)，它们对被加工物的外周缘进行保持；支承板部(20)，其将保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及移动单元(30)，其使保持部件在接近/远离方向上移动。保持部件具有：杆部(11)，其以能够上下移动的方式相对于支承板部悬垂；卡合部(12)，其形成在杆部的下端外周，与被加工物的外周缘卡合；以及喷嘴部(13)，其从杆部的下表面(11a)朝向保持面喷射流体，使被加工物从保持面浮起。

主权项

一种板状物搬送装置，其将板状物相对于卡盘工作台的保持面搬入或搬出，其中，该板状物搬送装置具有：保持单元，其对板状物进行保持；以及移动机构，其使该保持单元移动，该保持单元包含：至少两个保持部件，它们对板状物的外周缘进行保持；支承板部，其将该保持部件支承为能够在接近或远离板状物的外周缘的接近/远离方向上移动；以及移动单元，其使该保持部件在接近/远离方向上移动，该保持部件具有：杆部，其以能够上下移动的方式相对于该支承板部悬垂；卡合部，其形成在该杆部的下端外周，与板状物的外周缘卡合；以及喷嘴部，其从该杆部的下表面朝向该保持面喷射流体，使板状物从该保持面浮起。