[发明专利]一种背面浆料直接烧穿的背钝化太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明公开了一种背面浆料直接烧穿的背钝化太阳能电池及其制造方法，包括从上往下依次铺设的氮化硅减反射膜、磷扩散层、P型硅基体、钝化层和背面非烧穿型铝浆层，钝化层包括氧化硅膜和氮化硅膜，还包括氮氧化硅膜，所述氮化硅减反射膜上设有若干已经烧穿氮化硅减反射膜的正面银电极，在背面钝化层上设有背电极，背电极与P型硅基体连接，浆料层与P型硅基体接触，在背面钝化层上，印刷一层非烧穿型铝浆层。本发明还公开了此种背钝化太阳能电池的制造方法。采用本发明的设计，后续可以在生产工序中方便的增加PERL结构技术、正面SE结构技术、背面硼扩散技术或上述技术的叠加，扩展性强。

主权项

一种背面浆料直接烧穿的背钝化太阳能电池，其特征在于：包括从上往下依次铺设的氮化硅减反射膜、磷扩散层、P型硅基体、钝化层和背面非烧穿型铝浆层，钝化层包括氧化硅膜和氮化硅膜，所述氮化硅减反射膜上设有若干已经烧穿氮化硅减反射膜的正面银电极，在背面钝化层上设有背电极，背电极与P型硅基体连接，浆料层与P型硅基体接触。