[发明专利]一种提高多晶黑硅光电转换效率及组件功率的微观结构

摘要

本发明涉及一种提高多晶黑硅光电转换效率及组件功率的微观结构，属于太阳电池技术领域。其特征在于通过特殊的化学处理方法将黑硅制绒后的绒面由圆形凹槽变为多边形凹孔结构，一定程度上降低了微观尖角结构，提高了绒面及扩散均匀性，优化了PECVD的钝化能力，此方法可显著提高太阳能电池的开压和填充因子，进一步提高太阳能电池的转换效率和组件功率。

主权项

一种提高黑硅多晶光电转换效率及组件功率的微观结构，其特征为，该微观结构通过下述步骤获得：a：碱抛光；b：第一次漂洗；c：银沉积；d：挖孔；e：第二次漂洗 f：脱银； g：第三次漂洗；h：扩孔；i：第四次漂洗 j：多边形凹孔修饰；k：去金属离子；l：第五次漂洗；m：烘干。