[发明专利]致动器组件、包括该致动器组件的机械组件以及其制造方法在审
| 申请号： | 201710728390.8 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107799648A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | D·J·克林曼 | 申请（专利权）人： | 波音公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/09;H01L41/29 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人： | 张全信,董志勇 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了致动器组件、包括该致动器组件的机械组件以及其制造方法。致动器组件包括具有第一侧和第二侧的压电元件、与所述第一侧电连通的第一电极，和与所述第二侧电连通的第二电极。第一电极包括柔性导电膜。机械组件包括第一结构，其包括第一界面表面；第二结构，其包括第二界面表面；和致动器组件。所述致动器组件配置以为第一结构和第二结构之间的相对运动提供动力。方法包括在压电元件的第一侧上限定第一电极和在压电元件的第二侧上限定第二电极。所述第一电极包括柔性导电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 组件 包括 机械 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
致动器组件(50)，其包括：压电元件(60)，其具有第一侧(61)和相对的第二侧(62)；第一电极(70)，其与所述第一侧电连通，其中所述第一电极包括柔性导电膜(72)；和第二电极(80)，其与所述第二侧电连通。
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