[发明专利]一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法有效
| 申请号： | 201710728956.7 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107523793B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 胡长奇;郭书鹏;王梦帝 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属锂蒸发装置中包括：开孔组件，开孔组件包括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一一对应的开孔针；当针体支撑板处于第一工位时，每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内，当针体支撑板处于第二工位时，每一个开孔针自蒸发坩埚内脱离；用于驱动针体支撑板动作的第一驱动组件。开孔针插入锂块形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，节约升温时间，提高了金属锂蒸发的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属锂 开孔 支撑板 针体 蒸发装置 蒸发 开孔组件 蒸镀设备 蒸发坩埚 蒸发孔 工位 驱动组件 蒸发表面 氮化 均匀性 自蒸发 伸入 蒸镀 坩埚 穿过 驱动 节约 脱离 | ||
【主权项】：
1.一种金属锂蒸发装置，其特征在于，包括：真空腔壳体；安装于所述真空腔壳体内的蒸发坩埚，所述蒸发坩埚包括埚体和用于盖合所述埚体的盖体，所述盖体上设有多个蒸发孔；开孔组件，所述开孔组件包括针体支撑板、安装于所述针体支撑板且与所述蒸发孔一一对应的开孔针；当所述针体支撑板处于第一工位时，每一个所述开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以插入至所述蒸发坩埚内的金属锂内，当所述针体支撑板处于第二工位时，每一个所述开孔针自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述针体支撑板动作的第一驱动组件。
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