[发明专利]提高钕铁硼磁体矫顽力和抗腐蚀性的制备方法

摘要

一种提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的方法，将适当厚度的钕铁硼磁体表面采用真空磁控溅射镀Dy或Tb，重稀土的渗透深度为5‑500μm，形成富含Dy或Tb的高矫顽力晶界相层，然后再镀Al膜，制备的磁体具有高矫顽力和高耐腐蚀性的特点。有效利用稀土提高矫顽力，和较好的抗腐蚀性能，既减少重稀土资源的浪费，降低了磁体生产成本，又有效提高耐腐蚀性能。

主权项

提高钕铁硼磁体矫顽力和耐腐蚀性的制备方法，其特征在于包括以下步骤：步骤一：将制备好的钕铁硼永磁体，经过机加工制备成在取向方向的厚度3～10mm的磁体，依次经过碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干，获得没有锈迹的干净表面；步骤二：将步骤一中的永磁体放入镀膜室中的工件架上，将镀膜室的真空抽至5×10‑2Pa～5×10‑3Pa，加热使永磁体温度保持在800‑950 ℃之间；步骤三：启动镀膜室里的多弧阴极蒸发器，平面磁溅射靶和旋转工件架，进行5‑20小时的磁控多弧溅射镀Dy或Tb；步骤四：维持镀膜室在真空下冷却60‑90 分钟到室温，再将磁体加热到450‑550 ℃之间保持1‑2小时，进行时效处理；步骤五：维持镀膜室已确定的真空度，冷却磁体到室温，充入Ar或其他惰性气体后，打开镀膜室；步骤六：将磁体表面剩余的Dy或Tb层经过磨加工去除，获得光洁表面；步骤七：将步骤六的磁体采用碱洗→水洗→酸洗→水洗→吹干，获得干净的表面；步骤八：将已渗Dy或Tb的磁体，再次放在旋转工件架上，关闭镀膜室，将镀膜室真空抽至4×10‑3Pa～5×10‑3Pa，并加热使磁体温度保持在270‑350 ℃之间；步骤九：启动镀膜室的多弧阴极蒸发器，平面磁溅射靶和旋转工件架进行2‑10小时镀Al膜；步骤十：维持镀膜室真空，冷却磁体至室温，充气，打开镀膜室。