[发明专利]一种溅镀装置及溅镀系统有效
| 申请号： | 201710734352.3 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107365968B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 苏彦荧 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅镀装置，包括靶电极、底部电极、第一载台、第二载台以及遮蔽层，所述靶电极与所述底部电极平行且正对设置，所述第一载台和所述第二载台设于所述底部电极上，且所述第一载台和所述第二载台之间形成间隔；所述遮蔽层包括外围部分和中间部分，所述外围部分与所述中间部分围成位于所述中间部分两不同侧的容纳孔，所述第一载台和所述第二载台分别嵌设于两个所述容纳孔内。本发明还公开了一种溅镀系统。本发明的溅镀装置内具有间隔设置的两个载台，可以分别承载一片规格小的玻璃基板，也可以共同承载一片规格大的玻璃基板，当某一侧的载台需要更换或维护时，只需要拆下相应的载台即可，无需更换所有的载台，节省了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 载台 底部电极 溅镀装置 玻璃基板 靶电极 容纳孔 遮蔽层 溅镀 承载 外围 间隔设置 正对设置 拆下 嵌设 平行 维护 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀装置，其特征在于，包括靶电极(10)、底部电极(20)、第一载台(30)、第二载台(40)以及遮蔽层(50)，所述靶电极(10)与所述底部电极(20)平行且正对设置，所述第一载台(30)和所述第二载台(40)设于所述底部电极(20)上，且所述第一载台(30)和所述第二载台(40)之间形成间隔；所述遮蔽层(50)包括外围部分(51)和中间部分(52)，所述外围部分(51)与所述中间部分(52)围成位于所述中间部分(52)两不同侧的容纳孔，所述第一载台(30)和所述第二载台(40)分别嵌设于两个所述容纳孔内；所述底部电极(20)包括第一电极(21)和第二电极(22)，所述第一电极(21)和所述第二电极(22)相邻且分别接地。
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