[发明专利]一种提高除胶均匀性的辅助抽真空装置及抽真空方法有效
| 申请号： | 201710737898.4 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107623995B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 莫崇明;彭卫红;莫崇慧;杜明星 | 申请（专利权）人： | 深圳崇达多层线路板有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 44242 深圳市精英专利事务所 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥横岗下工*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子机除胶领域,具体为一种提高除胶均匀性的辅助抽真空装置及抽真空方法。本发明通过将屏壁设置在抽真空入口前，并在屏壁上均匀设有若干个通孔,安装时，使屏壁与抽真空入口形成一个用于缓冲压力的腔体，使得屏蔽可以有效地缓冲抽真空入口产生的压力，并将抽真空入口集中的压力通过若干个均匀设置的通孔均匀分散开来，使得靠近抽真空入口周围的等离子气体在抽真空过程中被均匀的抽走，从而提高PCB板除胶量均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 均匀 辅助 真空 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高除胶均匀性的辅助抽真空装置，其特征在于：包括一个用于安装在真空设备内的屏壁，所述屏壁与真空设备内的腔体的截面形状相匹配，所述屏壁均匀设有若干个通孔；所述屏壁中朝向抽真空入口的端面上设有内凹的长方形腔体，使所述屏壁与真空设备的内壁之间形成一个用于缓冲压力的夹壁腔体。/n
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